Ο σημαντικός εξοπλισμός για τεχνικές μικροανάλυσης περιλαμβάνει: οπτικό μικροσκόπιο (OM), ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης διπλής δέσμης (DB-FIB), ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης (SEM) και ηλεκτρονικό μικροσκόπιο μετάδοσης (TEM).Το σημερινό άρθρο θα εισαγάγει την αρχή και την εφαρμογή του DB-FIB, εστιάζοντας στην ικανότητα εξυπηρέτησης της μετρολογίας του ραδιοφώνου και της τηλεόρασης DB-FIB και στην εφαρμογή του DB-FIB στην ανάλυση ημιαγωγών.
Τι είναι το DB-FIB
Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης διπλής δέσμης (DB-FIB) είναι ένα όργανο που ενσωματώνει την εστιασμένη δέσμη ιόντων και τη δέσμη ηλεκτρονίων σάρωσης σε ένα μικροσκόπιο και είναι εξοπλισμένο με εξαρτήματα όπως σύστημα έγχυσης αερίου (GIS) και νανοχειριστή, ώστε να επιτυγχάνονται πολλές λειτουργίες όπως χάραξη, εναπόθεση υλικού, μικρο και νανο επεξεργασία.
Μεταξύ αυτών, η εστιασμένη δέσμη ιόντων (FIB) επιταχύνει τη δέσμη ιόντων που παράγεται από την πηγή ιόντων υγρού μετάλλου γαλλίου (Ga), στη συνέχεια εστιάζει στην επιφάνεια του δείγματος για να δημιουργήσει δευτερεύοντα σήματα ηλεκτρονίων και συλλέγεται από τον ανιχνευτή.Ή χρησιμοποιήστε δέσμη ιόντων ισχυρού ρεύματος για να χαράξετε την επιφάνεια του δείγματος για μικρο και νανο επεξεργασία.Ένας συνδυασμός φυσικών επιμεταλλώσεων και αντιδράσεων χημικών αερίων μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την επιλεκτική χάραξη ή εναπόθεση μετάλλων και μονωτών.
Κύριες λειτουργίες και εφαρμογές του DB-FIB
Βασικές λειτουργίες: επεξεργασία διατομής σταθερού σημείου, προετοιμασία δείγματος TEM, επιλεκτική ή ενισχυμένη χάραξη, εναπόθεση μεταλλικού υλικού και εναπόθεση μονωτικού στρώματος.
Πεδίο εφαρμογής: Το DB-FIB χρησιμοποιείται ευρέως σε κεραμικά υλικά, πολυμερή, μεταλλικά υλικά, βιολογία, ημιαγωγούς, γεωλογία και άλλους τομείς έρευνας και δοκιμών σχετικών προϊόντων.Συγκεκριμένα, η μοναδική δυνατότητα προετοιμασίας δειγμάτων μετάδοσης σταθερού σημείου του DB-FIB το καθιστά αναντικατάστατο στην ικανότητα ανάλυσης αστοχίας ημιαγωγών.
Δυνατότητα σέρβις GRGTEST DB-FIB
Το DB-FIB που εξοπλίζεται επί του παρόντος από το Εργαστήριο Δοκιμών και Ανάλυσης IC της Σαγκάης είναι η σειρά Helios G5 της Thermo Field, η οποία είναι η πιο προηγμένη σειρά Ga-FIB στην αγορά.Η σειρά μπορεί να επιτύχει αναλύσεις απεικόνισης δέσμης ηλεκτρονίων σάρωσης κάτω από 1 nm και είναι πιο βελτιστοποιημένη όσον αφορά την απόδοση και τον αυτοματισμό δέσμης ιόντων από την προηγούμενη γενιά ηλεκτρονικής μικροσκοπίας δύο δεσμών.Το DB-FIB είναι εξοπλισμένο με νανοχειριστές, συστήματα έγχυσης αερίου (GIS) και ενεργειακό φάσμα EDX για να καλύψει μια ποικιλία βασικών και προηγμένων αναγκών ανάλυσης αστοχίας ημιαγωγών.
Ως ισχυρό εργαλείο για την ανάλυση αστοχίας φυσικών ιδιοτήτων ημιαγωγών, το DB-FIB μπορεί να εκτελέσει κατεργασία διατομής σταθερού σημείου με ακρίβεια νανομέτρων.Ταυτόχρονα με την επεξεργασία του FIB, η δέσμη ηλεκτρονίων σάρωσης με ανάλυση νανομέτρων μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρατήρηση της μικροσκοπικής μορφολογίας της διατομής και την ανάλυση της σύνθεσης σε πραγματικό χρόνο.Επίτευξη της εναπόθεσης διαφορετικών μεταλλικών υλικών (βολφράμιο, πλατίνα, κ.λπ.) και μη μεταλλικών υλικών (άνθρακας, SiO2).Οι εξαιρετικά λεπτές φέτες TEM μπορούν επίσης να παρασκευαστούν σε ένα σταθερό σημείο, το οποίο μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις παρατήρησης εξαιρετικά υψηλής ανάλυσης σε ατομικό επίπεδο.
Θα συνεχίσουμε να επενδύουμε σε προηγμένο ηλεκτρονικό εξοπλισμό μικροανάλυσης, θα βελτιώνουμε και θα επεκτείνουμε συνεχώς τις δυνατότητες που σχετίζονται με την ανάλυση αστοχιών ημιαγωγών και θα παρέχουμε στους πελάτες λεπτομερείς και ολοκληρωμένες λύσεις ανάλυσης αστοχιών.
Ώρα δημοσίευσης: Απρ-14-2024