Ανάλυση μικροδομής και αξιολόγηση υλικών ημιαγωγών
Εισαγωγή υπηρεσίας
Με τη συνεχή ανάπτυξη ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας, η διαδικασία κατασκευής τσιπ γίνεται ολοένα και πιο περίπλοκη και η ανώμαλη μικροδομή και σύνθεση των υλικών ημιαγωγών εμποδίζει τη βελτίωση της απόδοσης του τσιπ, η οποία φέρνει μεγάλες προκλήσεις στην εφαρμογή νέων ημιαγωγών και ολοκληρωμένων τεχνολογίες κυκλώματος.
Το GRGTEST παρέχει ολοκληρωμένη ανάλυση και αξιολόγηση μικροδομής υλικού ημιαγωγών για να βοηθήσει τους πελάτες να βελτιώσουν τις διαδικασίες ημιαγωγών και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, συμπεριλαμβανομένης της προετοιμασίας προφίλ στάθμης πλακιδίων και ηλεκτρονικής ανάλυσης, περιεκτική ανάλυση των φυσικών και χημικών ιδιοτήτων των σχετικών υλικών κατασκευής ημιαγωγών, διαμόρφωση και εφαρμογή ανάλυσης ρύπων υλικών ημιαγωγών πρόγραμμα.
Πεδίο υπηρεσίας
Ημιαγώγιμα υλικά, οργανικά μικρομοριακά υλικά, πολυμερή υλικά, οργανικά/ανόργανα υβριδικά υλικά, ανόργανα μη μεταλλικά υλικά
Πρόγραμμα εξυπηρέτησης
1. Η προετοιμασία προφίλ επιπέδου γκοφρέτας τσιπ και η ηλεκτρονική ανάλυση, με βάση την τεχνολογία εστιασμένης δέσμης ιόντων (DB-FIB), την ακριβή κοπή της τοπικής περιοχής του τσιπ και την ηλεκτρονική απεικόνιση σε πραγματικό χρόνο, μπορούν να λάβουν τη δομή του προφίλ του τσιπ, τη σύνθεση και άλλα σημαντικές πληροφορίες διαδικασίας·
2. Ολοκληρωμένη ανάλυση των φυσικών και χημικών ιδιοτήτων των υλικών κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων οργανικών πολυμερών υλικών, υλικών μικρών μορίων, ανάλυση σύνθεσης ανόργανων μη μεταλλικών υλικών, ανάλυση μοριακής δομής κ.λπ.
3. Διαμόρφωση και εφαρμογή σχεδίου ανάλυσης ρύπων για υλικά ημιαγωγών.Μπορεί να βοηθήσει τους πελάτες να κατανοήσουν πλήρως τα φυσικά και χημικά χαρακτηριστικά των ρύπων, όπως: ανάλυση χημικής σύνθεσης, ανάλυση περιεχομένου συστατικών, ανάλυση μοριακής δομής και ανάλυση άλλων φυσικών και χημικών χαρακτηριστικών.
Είδη υπηρεσίας
| Υπηρεσίατύπος | Υπηρεσίαείδη |
| Ανάλυση στοιχειακής σύνθεσης ημιαγωγών υλικών | l Στοιχειακή ανάλυση EDS, l Στοιχειακή ανάλυση φασματοσκοπίας φωτοηλεκτρονίου ακτίνων Χ (XPS). |
| Ανάλυση μοριακής δομής ημιαγωγών υλικών | l Ανάλυση υπέρυθρου φάσματος FT-IR, l Φασματοσκοπική ανάλυση περίθλασης ακτίνων Χ (XRD), l Ποπ Ανάλυση πυρηνικού μαγνητικού συντονισμού (H1NMR, C13NMR) |
| Ανάλυση μικροδομής ημιαγωγών υλικών | l Ανάλυση τομής διπλής εστίασης δέσμης ιόντων (DBFIB), l Χρησιμοποιήθηκε ηλεκτρονική μικροσκοπία σάρωσης εκπομπής πεδίου (FESEM) για τη μέτρηση και την παρατήρηση της μικροσκοπικής μορφολογίας, l Μικροσκοπία ατομικής δύναμης (AFM) για παρατήρηση μορφολογίας επιφανειών |
