Επί του παρόντος, το DB-FIB (Dual Beam Focused Ion Beam) εφαρμόζεται ευρέως στην έρευνα και την επιθεώρηση προϊόντων σε τομείς όπως:
Κεραμικά υλικά,Πολυμερή,Μεταλλικά υλικά,Βιολογικές μελέτες,Ημιαγωγοί,Γεωλογία
Ημιαγώγιμα υλικά, οργανικά μικρομοριακά υλικά, πολυμερή υλικά, οργανικά/ανόργανα υβριδικά υλικά, ανόργανα μη μεταλλικά υλικά
Με την ταχεία πρόοδο των ηλεκτρονικών ημιαγωγών και των τεχνολογιών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, η αυξανόμενη πολυπλοκότητα των δομών συσκευών και κυκλωμάτων έχει αυξήσει τις απαιτήσεις για διάγνωση διεργασιών μικροηλεκτρονικών τσιπ, ανάλυση αστοχιών και μικρο/νανοκατασκευή.Το σύστημα Dual Beam FIB-SEM, με τις ισχυρές δυνατότητες μηχανικής κατεργασίας ακριβείας και μικροσκοπικής ανάλυσης, έχει καταστεί απαραίτητος στον σχεδιασμό και την κατασκευή μικροηλεκτρονικών.
Το σύστημα Dual Beam FIB-SEMενσωματώνει τόσο μια εστιασμένη δέσμη ιόντων (FIB) όσο και ένα ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης (SEM). Επιτρέπει την παρατήρηση SEM σε πραγματικό χρόνο των διεργασιών μικροκατεργασίας που βασίζονται σε FIB, συνδυάζοντας την υψηλή χωρική ανάλυση της δέσμης ηλεκτρονίων με τις ικανότητες επεξεργασίας υλικού ακριβείας της δέσμης ιόντων.
Τοποθεσία-Προετοιμασία ειδικής διατομής
TΑπεικόνιση και ανάλυση δειγμάτων ΗΜ
SΕπιλογή Χαλκογραφίας ή Ενισχυμένη Επιθεώρηση Χαλκογραφίας
MΈλεγχος εναπόθεσης etal και μονωτικής στρώσης